エンジニアリング

工業用クリーンルーム

工業用クリーンルーム

精密加工技術の精度を左右する浮遊微粒子の汚染除去施設。

汚染の影響を受けやすい製造・研究・分析などの作業においてそれぞれの工程に適した作業環境を創出する為,浮遊微粒子汚染を除去・制御し、併せて温湿度,圧力,気流等を工場全体もしくは作業区画に応じた状態にする施設。ICR(industrial clean room)と呼ばれ、電子やフィルム、精密機械製造などにおいて製品の精密化・微細化・高品質化及び高信頼性を高めるのに欠かせない施設です。

ファン付サプライユニット

サプライユニット

ロールフィルター

フィルター
ユニット

HEPA/ULPAフィルター

エアシャワー

パスボックス

エアシャワー

ファンフィルターユニット

換気ファン

外調機

更衣室

搬入扉

空調機

空調機

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塗工設備用クリーンルーム

設定環境の変更にも柔軟に対応できるローカルセットアップ方式を採用。

高い清浄度とVOC処理機能、防爆対応を保ちながら、後の環境設定の変更にも省工事で対応できるダクトレスシステム。送風搬送動力の低減で大幅な省エネ化も実現します。

特徴
  • エリア単位で空調機を配置したローカルセットアップ方式。
  • 長尺ダクトが不要な省工事設計で、工費も低減。
  • ダクトレスで搬送動力が抑えられ省エネルギー。(約20%低減)
  • 清浄度、風量、温湿度の変更がクリーンユニット単位でキメ細かく容易に対応可能。

エリア単位でクリーンユニットを配置

VOC
処理装置

調液室など
ISOクラス7(クラス10,000)
(防爆エリア)

塗工室
ISOクラス5(クラス100)
(防爆エリア)
クリーンルーム内の非防爆エリアから防爆エリアへの室圧勾配確保。
一般エリアへの溶剤雰囲気の流出防止

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ドライクリーンルーム

露点温度マイナス60℃の低湿度空間を安定的に提供。

ダイキンが世界に誇る高性能乾式除湿機「ハニードライ」と当社の冷凍機技術を融合させ、製造環境に応じた低湿度環境を安定的かつ、省エネルギーに提供いたします。

ドライルーム

詳細

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ケミカルハザード対策施設

モジュール設計で、短工期で高品質な施設を実現。

ダイオキシン類など環境ホルモンや有害物質類の抽出、分析を行う施設として、エアーロック機能を厳重完備し、酸・有機の汚染物質の施設外への持ち出し、系統内でのクロスコンタミ防止や排出処理も厳重に行える施設を短工期で作り上げます。

特徴
  • 必要機器やシステムフローなどのモジュール化で、高品質な施設の短工期化を実現。
  • 専用開発の可変風量型オールフレッシュエアコンで高い省エネ効果を発揮。
  • 酸・有機汚染物や塵埃の除去、ドラフト類の安全運転、空間コンタミ防止などの各種エアーロック機能を採用。

概略系統図

フィルターユニット

排気処理ユニット

オールフレッシュ
空調機

セーフティーキャビネット

セーフティーキャビネット

空調機械室

薬品保管室

低濃度前処理室

高濃度前処理室

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