精密加工技術の精度を左右する浮遊微粒子の汚染除去施設 汚染の影響を受けやすい製造・研究・分析などの作業において、それぞれの工程に適した作業環境を創出する為、浮遊微粒子汚染を除去・制御し、併せて温湿度、圧力、気流等を工場全体もしくは作業区画に応じた状態にする施設です。ICR(industrial clean room)と呼ばれ、電子やフィルム、精密機械製造などにおいて製品の精密化・微細化・高品質化及び高信頼性を高めるのに欠かせない施設です。